近日，beats·365(中国)-官方网站与上海励兆科技有限公司共建的“射频电力电子与半导体电源技术联合实验室”揭牌仪式在闵行校区智能电网楼举行。闵行区经委副主任李伟、先导科科长张健，上海智能制造功能平台有限公司总经理习俊通，上海金浦智能科技投资管理有限公司总裁田华峰，中微半导体设备（上海）股份有限公司射频负责人徐博士，以及上海励兆科技有限公司总经理赵馗、市场销售副总裁宋伟、技术总监马俊等企业代表，beats·365(中国)-官方网站副院长李睿、院长助理华浩，以及浦江国际学院马澄斌，beats·365(中国)-官方网站刘明、叶舒等教师代表等出席活动，共同见证半导体核心电源系统领域产学研协同推进的重要进展。

李睿代表学院致辞，对合作单位长期以来的信任与支持表示感谢。他指出，联合实验室的成立是对双方前期良好合作基础的进一步深化。当前，先进半导体工艺对高性能电源系统提出了更高要求，相关问题既涉及等离子体等基础科学问题，也面临高频、高功率电源系统的工程实现挑战。共建联合实验室有助于整合高校在基础研究与理论建模方面的优势，以及企业在工程实现与产业需求方面的经验，从而推动相关关键技术持续发展。

赵馗在致辞中表示，公司自成立以来持续深耕射频等离子源领域，已在半导体设备应用中取得阶段性进展。此次与学院共建联合实验室，将进一步加强基础研究与工程应用之间的衔接，推动“基础研究—技术攻关—产业应用”的协同发展。

实验室负责人刘明教授介绍了联合实验室的建设情况。实验室将聚焦射频电力电子与半导体电源关键技术，重点开展新型等离子偏置刻蚀电源、远程等离子源、光刻机激光电源、射频阻抗匹配以及等离子体阻抗建模等方向的研究工作。同时，依托学院在电气工程领域的学科优势，实验室还将探索特种高功率电源等相关前沿方向，促进多学科交叉融合。

在人才培养方面，联合实验室将作为学院实践教学与科研训练的重要平台，逐步向本科生与研究生开放实验条件，强化学生对实际工程系统的理解，提升创新能力与工程素养。同时，双方还将通过联合培养、实习实践等方式，探索更加紧密的人才培养模式。

随后，来自政府、产业平台、投资机构及半导体设备企业的多位嘉宾围绕半导体装备关键技术发展趋势及产学研协同创新路径进行了交流。与会嘉宾对联合实验室的建设表示认可，并对其后续发展寄予期待。